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瀚文紫外臭氧清洗儀是一款用于無(wú)機(jī)基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機(jī)污染物去除的表面清洗設(shè)備。

山東瀚文紫外臭氧清洗機(jī)是一款用于無(wú)機(jī)基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機(jī)污染物去除的表面清洗設(shè)備。低壓紫外汞燈能夠同時(shí)發(fā)射波長(zhǎng)254nm和185nm的紫外光，在這兩種短波紫外光的照射下，活化有機(jī)物分子與活性氧原子發(fā)生氧化反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣體逸出樣品表面，從而清除粘附在樣品表面上的有機(jī)污染物。